2025清華大學機械工程系微納制造與摩擦學團隊路新春教授招收博士后公告

研究方向·個人簡介

清華大學機械工程系路新春教授是我國集成電路裝備與技術領域的主要，面向國家重大戰略需求，長期從事納米摩擦學與超精表面制造研究，并聚焦于CMP、減薄、離子注入等超精密加工裝備研發與產業化。他主持了12項重大科研項目，建立了化學機械耦合原子級材料去除機理、馬蘭戈尼干燥動力學理論，提出摩擦力終點檢測新方法、磨削-CMP一體化減薄新方法，帶領團隊攻克了多區壓力調控、超潔凈清洗、減薄面形調控等核心技術，研制出我國首臺12英寸CMP裝備和12英寸磨削拋光一體化減薄裝備，解決了我國在該領域的“卡脖子”問題。通過成果轉化，他于2013年創立了華海清科股份有限公司，實現了國產CMP裝備和減薄裝備的規模化應用，并于2022年在科創板上市。獲授權發明專利249件，發表高水平論文200余篇，他引5000余次。獲國家技術發明一等獎1項(排1)、國家科技進步二等獎1項(排2)、國家自然科學二等獎1項(排3)，曾獲全國五一勞動獎章、全國勞動模范等榮譽，并入選國家科技創新創業人才計劃。

為推進高端離子注入裝備國產化，加強團隊等離子體和離子束專業隊伍的培養建設，課題組現誠聘等離子學科的博士后研究人員2-3名。

擬從事研究內容和研究計劃

●　射頻等離子體源研究

●　等離子體仿真模型研發和實驗驗證

●　長壽命負氫離子源開發

任職要求

●　具有博士學位，品學兼優，身體健康，年齡在35周歲以下，獲得博士學位的年限一般不超過3年。

●　具有等離子學科的博士學位，深刻理解等離子體的產生、維持、輸運、鞘層形成、碰撞過程(激發、電離、解離)等基本原理。獨立承擔過射頻等離子體源開發，或者獨立完成ICP/CPP等離子體系統的仿真建模及計算。

●　學術態度端正，無職業道德問題，熱愛科研工作，自驅動力強，具有較強的實驗動手和團隊合作能力。

注：招聘博士后由清華大學與華海清科股份有限公司聯合培養

●　工作地點：天津/北京

●　待遇：面談

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應聘材料/申請方式

符合上述條件的應聘者，請將應聘材料(包括個人簡歷、科研經歷概述、代表性科研成果等)發到郵箱：(lifeizhang@tsinghua.edu.cn)。郵件標題注明“姓名-畢業院校-申請崗位名稱”。通過初選者電話通知安排面試，未通知面試者不再另發通知。申請人經面試通過后可立即開始工作。我們將對申請材料嚴格。

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原標題:清華大學機械工程系微納制造與摩擦學團隊路新春教授招收博士后

文章來源:https://mp.weixin.qq.com/s/MpAZY-adSXoqBvo2cD3yPA

（責任編輯：李明）